high voltage for elektrostatische Chucks
Mit elektrostatischen Chucks werden Wafer im Vakuum festgehalten. Dabei kommt das Prinzip der elektrostatischen Anziehung zur Anwendung.
high voltage for elektrostatische Chucks: iseg DPS series
Die Baureihe DPS umfasst Präzisionshochspannungsmodule mit Ausgangsspannungen bis 6 kV bei max. 12 W mit Polaritätsumschaltung in einem montagefreundlichen kompakten Gehäuse. Der Hochspannungsausgang ist als Kabel oder als SHV Stecker ausgeführt. Der Anschluss der Versorgungs- und Steuerspannungen erfolgt über einen D-SUB 9 Stecker oder H15-Leiste (3HE-Kassette).
Zur Einstellung der Hochspannung mittels externem Potentiometer steht eine interne Referenzspannung zur Verfügung. Die Fernsteuerung erfolgt über analog I/O. Angeschlossene Verbraucher werden durch einstellbare Hardwarelimits für Spannung und Strom geschützt. Die patentierte Resonanzwandlerschaltung und das Metallgehäuse garantieren geringste Störstrahlung.
Zur Einstellung der Hochspannung mittels externem Potentiometer steht eine interne Referenzspannung zur Verfügung. Die Fernsteuerung erfolgt über analog I/O. Angeschlossene Verbraucher werden durch einstellbare Hardwarelimits für Spannung und Strom geschützt. Die patentierte Resonanzwandlerschaltung und das Metallgehäuse garantieren geringste Störstrahlung.
high voltage for elektrostatische Chucks: iseg THQ series
Diese preiswerten und robusten HV-Netzgeräte werden mit den bewährten CPS-, DPS- und EPS-HV-Modulen bestückt. Sie enthalten 1, 2 oder 3 HV-Module in vielen möglichen Kombinationen. Die Ausgangsspannung wird mit einem 10-Gang-Potentiometer, über USB-Interface oder Analog-I/O eingestellt. Ausgangsspannung oder -strom werden dabei auf einem 2-zeiligen LCD pro Kanal angezeigt.
